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一种柔性集成化超声换能器及其制备方法

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  • 更新日期:2013-06-07 14:27
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详细介绍
一种柔性集成化超声换能器,由有机薄膜晶体管和压电传感器集成而成,具体是依次由基底、防潮隔离层、源漏电极、半导体薄膜层、栅介质层、栅电极层、电信号耦合层、压电薄膜层、电极层和超声耦合层构成。本发明为了便于制备二维柔性超声换能器阵列,采用柔性PET作为基底,PET基底上沉积一层二氧化硅薄膜用于隔离湿汽;用PVDF薄膜作为超声传感器的压电材料具有压电性能好、低声阻抗、与水和有机体具有良好的声阻抗匹配,从而使灵敏度提高、频带变宽;PVDF薄膜的高柔顺性为压电传感器集成提供良好的技术基础。采用有机薄膜晶体管作为内置信号放大,提高增益和信噪比,改善抗干扰能力。

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